Precision STAGE测量位移台

运行行程: 100, 200 mm
速度: 500 m/s
重复精度: 0.3 µm

... 无铁电机特别适用于对精度要求极高的定位任务，因为它不会与永久磁铁产生不良影响。因此，即使在最低速度时也能平稳运行，同时在高速时也不会产生振动。避免了控制行为的非线性，任何位置都能轻松控制。 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光学编码器可直接在平台上测量位置，精度极高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。可根据要求提供更多行程范围。 ...

速度: 500 mm/s
重复精度: 0.5 µm
载荷: 50 kg

... 无铁电机特别适用于对精度要求极高的定位任务，因为它不会与永久磁铁产生不良影响。因此，即使在最低速度时也能平稳运行，同时在高速时也不会产生振动。避免了控制行为的非线性，任何位置都能轻松控制。驱动力可以自由设定。 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式光学编码器直接在平台上测量位置，精度最高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。可根据要求提供更多行程范围。 医疗行业。激光切割。扫描。生物技术。计量。AOI（自动光学检测）。激光打标 行程范围 ...

重复精度: 2 µm
载荷: 5 kg

... E-MST-XY 205X205 工业测量显微镜扫描平台 简要说明： 工业显微镜直线电机平台是专为主流科研级倒置显微镜设计开发的产品。它具有精度更高、响应更快、速度更快、寿命更长等优点。此外，由于直线电机是非接触式直接驱动机构，几乎没有噪音，是传统的显示电机。微镜平台的优化升级产品。 ...

速度: 50, 100, 20, 300 mm/s
重复精度: 300, 20, 100, 2, 200 nm
载荷: 8, 10 kg

... MiniSCAN 系列是我公司近期推出的一款高精度桌面扫描系统。整机采用稳定性极佳的大理石底座，配备高精度 XY 轴和 Z 轴运动平台，并预留光路安装和照明。该机构可以非常快速地组合成满足客户要求的各种应用。目前，它在半导体晶片扫描、生物检测和干涉仪测量等高精度应用领域已有非常成功的应用案例。MiniSCAN 系列的主要特点 标准桌面级隔振系统 三轴可选高精度直线电机或高稳定性步进电机运动平台 驱动控制系统已嵌入整机结构，无需额外的控制盒 ...

... 表面计量，包括测量圆度、平面度和形状误差 -微量和纳米层析成像 -光束线和同步辐射研究 -精密制造，包括金刚石车削、磨削和其他高性能机床应用 应用 -光学对准、检测和校准系统 -精密设计 -EABRX 系列经过精心设计，能够始终满足最严格的性能要求。 性能要求。其核心是业界领先的空气轴承技术，可提供纳米级误差 其核心是业界领先的空气轴承技术，具有纳米级误差、高刚度和高承载能力的运动性能。 ...

... 表面计量，包括测量圆度、平面度和形状误差 -微量和纳米层析成像 -光束线和同步辐射研究 -精密制造，包括金刚石车削、磨削和其他高性能机床应用 应用 -光学对准、检测和校准系统 -精密设计 -EABRX 系列经过精心设计，能够始终满足最严格的性能要求。 性能要求。其核心是业界领先的空气轴承技术，可提供纳米级误差 其核心是业界领先的空气轴承技术，具有纳米级误差、高刚度和高承载能力的运动性能。 ...

... 帮助您优化高精度工艺 工艺 -最大限度地减少轴向、径向和倾斜运动误差，从而减少对零件和测量数据进行大量后 减少对零件和测量数据进行大量后处理的需要 -在不影响运动质量的情况下提供强大的承载能力 -结构紧凑、重量轻，易于集成到精密系统和机器中。 由于结构紧凑、重量轻，以及水平和垂直安装和承载能力，可轻松集成到精密系统和机器中 提供同类最佳的旋转运动，帮助您优化高精度工艺 将轴向、径向和倾斜运动误差降至最低，减少了对零件和测量数据进行大量后处理的需要 4R-NG ...

... 可垂直或水平安装 设计特点 提供一流的旋转运动，帮助您优化高精度工艺 将轴向、径向和倾斜运动误差降至最低，减少对零件和测量数据进行大量后处理的需要 在不影响运动质量的前提下提供强大的承载能力 由于结构紧凑、重量轻、具有水平和垂直安装及承载能力，因此可轻松集成到精密系统和机器中 主要应用 E-3R-NG 平台是高精度应用的理想选择，包括 表面计量，包括测量圆度、平面度和形状误差 显微和纳米层析成像 光束线和同步辐射研究 精密制造，包括金刚石车削、磨削和其他高性能机床应用 光学对准 ...

... -与洁净室兼容 -可垂直或水平安装 -直接驱动、旋转气浮平台 -模拟和数字位置反馈 产品概览 提供同类最佳的旋转运动，帮助您优化高精度过程 将轴向、径向和倾斜运动误差降至最低，从而减少对零件和测量数据进行大量后处理的需要 测量数据 通过高分辨率反馈提供出色的定位性能和速度稳定性 采用新颖的无影响电机设计，有助于实现超精密运动性能 在不影响运动质量的前提下提供强大的承载能力 结构紧凑、重量轻，可轻松集成到精密系统和机器中，同时还具有水平和垂直安装以及承载能力。 垂直安装和承载能力 可安装在任何方向 ...

... 3R-NG 非常适合用作多轴运动系统和精密整机中的组件平台。E-3R-NG 平台可以 旋转轴可垂直或水平安装 可垂直或水平安装 -设计特点 -提供同类最佳的旋转运动，帮助您优化高精度过程 -最小化轴向、径向和倾斜运动误差，减少对零件和测量数据进行大量后处理的需要。 测量数据 -在不影响运动质量的前提下提供强大的承载能力 -结构紧凑、重量轻，可轻松集成到精密系统和机器中。 水平和垂直安装及承载能力 ...