Hitachi/日立背向散射电子显微镜

倍率: 3,000,000 unit
空间分辨率: 0.8, 0.4, 1.2 nm

超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000 专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件，高分辨成像所设计。 • 新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。 0.4 nm / 30 kV (SE) 1.2 nm / 1 kV (SE) 0.34 nm / 30 ...

倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
空间分辨率: 0.9, 0.8 nm

超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700 随着快速数据采集和数据处理技术的发展，电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量，而且注重其采集过程的时代。SU8700作为一款面向新时代的SEM，在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上，增加了包括自动获取数据等高通量的功能。 超高分辨观察和超强分析能力 日立的高亮度肖特基场发射电子枪可同时支持超高分辨观察和快速微束分析。在不使用样品台减速的情况下，仅用0.1 ...

倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
空间分辨率: 0.7, 0.6 nm

... 颗粒表面细微的台阶结构清晰可见。低电压观察对于减少电子束损伤和获取表面形状信息较为有效 高衬度的低加速电压背散射图像 3D NAND截面观察; 在低加速电压条件下，背散射电子信号能够明显的显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。 快速BSE图像：新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)* 由于使用了新型的OCD探测器，即使扫描时间不到1秒，也仍然可以观察到Fin-FET清晰的深层结构图像. 先进的自动化功能* EM ...

倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
空间分辨率: 0.9, 0.8 nm

... 是一台实现了获取大量信息的新型扫描电镜，可以满足客户的多种观察需求。 接下来请欣赏SU7000带来的多彩世界 核心理念 1.采用优异的成像技术 SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统，使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号，用户可以在短时间内获得更全面的样品信息。 2.采用多通道成像技术 随着用户对成像需求的不断增长，SU7000特新增了几种探测器，还引进了相应的成像功能。SU7000最多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息的最大化 ...

空间分辨率: 1.2 nm

操作高效便捷 创新的“EM Wizard”界面更加直观，仅需要“点击”即可得到理想的图像。 超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平 高性能电子光学系统 • 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊ • 高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能，低至100 V成像 • 大束流(>200 nA): ...

倍率: 5 unit - 800,000 unit
空间分辨率: 15, 4, 3 nm

集优异性能、操作简便性、多样化功能于一身 日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。 ①SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察 ■样品台可搭载超大/超重样品 • 通过更换样品提示，可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品 • 选配样品交换仓，可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品，大大提高了工作效率 • 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度* • ...

倍率: 6 unit - 800,000 unit
空间分辨率: 4, 5, 15 nm

... 全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。 FlexSEM 1000 II，凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器，可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面，具有亮度和对焦自动调节功能，可以在短时间内进行各种观察。此外，还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”，这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点，实现最直观的视野移动。 • ...

倍率: 10 unit - 25,000,054 unit
重量: 54 kg
长度: 614, 617 mm

... 可结合其目的进行观察。 可在低真空的条件下进行二次电子像（表面形状）观察。 无需预处理，也可以观察绝缘物和含水、含油样品的表面 不仅是观察传统的导电性样品，还可以在无预处理的条件下观察绝缘物和含水、含油样品。可快速进行二次电子像与背散射电子像之间的切换。 高感度低真空二次电子检测器 采用高感度低真空二次电子检测器(UVD)。通过检测由于电子线与残留气体分子之间的碰撞而产生的光，可以观察带有二次电子信息的图像。此外，通过控制该检测器，来检测电子照射所产生的光，可以获得CL信息（UVD-CL： ...