Hitachi/日立纳米技术显微镜

倍率: 3,000,000 unit
空间分辨率: 0.8, 0.4, 1.2 nm

超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000 专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件，高分辨成像所设计。 • 新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。 0.4 nm / 30 kV (SE) 1.2 nm / 1 kV (SE) 0.34 nm / 30 kV (STEM) • 用改良的高真空性能和优异的电子束稳定性来实现高效率截面观察。 • 采用全新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE ...

倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
空间分辨率: 0.9, 0.8 nm

... 是一台实现了获取大量信息的新型扫描电镜，可以满足客户的多种观察需求。 接下来请欣赏SU7000带来的多彩世界 核心理念 1.采用优异的成像技术 SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统，使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号，用户可以在短时间内获得更全面的样品信息。 2.采用多通道成像技术 随着用户对成像需求的不断增长，SU7000特新增了几种探测器，还引进了相应的成像功能。SU7000最多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息的最大化 ...

空间分辨率: 1.2 nm

操作高效便捷 创新的“EM Wizard”界面更加直观，仅需要“点击”即可得到理想的图像。 超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平 高性能电子光学系统 • 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊ • 高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能，低至100 V成像 • 大束流(>200 nA): 便于高效微区分析 性能优异 • 压力可变: 具有优异的低真空(10 ...

倍率: 5 unit - 800,000 unit
空间分辨率: 15, 4, 3 nm

集优异性能、操作简便性、多样化功能于一身 日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。 ①SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察 ■样品台可搭载超大/超重样品 • 通过更换样品提示，可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品 • 选配样品交换仓，可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品，大大提高了工作效率 • 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度* • ...

倍率: 6 unit - 800,000 unit
空间分辨率: 4, 5, 15 nm

... 凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器，可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面，具有亮度和对焦自动调节功能，可以在短时间内进行各种观察。此外，还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”，这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点，实现最直观的视野移动。 • 尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型*1电子显微镜，仍可实现4.0 nm的分辨率 • 凭借独特的高灵敏度二次电子、背散射电子检测器、低真空检测器（UVD*2），可在低加速/低真空下观察时实现最高的画质 • ...

倍率: 10 unit - 25,000,054 unit
重量: 54 kg
长度: 614, 617 mm

台式扫描电子显微镜(SEM)全新升级。 我们以“更高画质、更易于使用、更易于观察”为理念，开发出TM4000系列。在此基础上，我们又推出功能更为多样的TM4000Ⅱ系列。 为您提供全新的观察和分析应用。 观察图像3分钟。可迅速获得所需数据，并制作报告。 观察与分析的灵活性 自动获取各类数据。快速切换！ 可快速获得元素分布图 * 使用Camera Navi*的话，就是如此简单 Camera Navi图像让您轻松找到视野，分布图(MAP)功能全程支持您的观察 操作简单且快捷 ...

倍率: 20 unit - 8,000,000 unit
空间分辨率: 0.08, 0.1 nm

... TEM/STEM，平衡了空间分辨率和倾斜、分析性能 通过单极片实现0.078 nm的STEM空间分辨率和高样品倾斜度、高立体角EDX。 透射电子显微镜除了延续了日立公司配备的具有扫描透射电子显微镜“HD-2700”的球面像差校正器的功能、自动校正功能，像差校正后的SEM图像和对称Dual SDD技术等特点。还融汇了透射电子显微镜HF系列中所积累的技术。 对于包括高端用户在内的广泛用户，我们提供亚Å级空间分辨率和高分析性能以及更多样化的观察和分析方法。 ※附带第二显示器（可选），显示屏为嵌入式合成界面 ...

重量: 990 kg
宽度: 1,190 mm
高度: 1,800 mm

... 日立 NP6800 是基于 SEM 的专用探测系统，旨在满足 10 纳米及更高设计节点半导体器件的分析需求。 精密压电驱动致动器配备了 X、Y 和 Z 轴探针移动装置，可以非常精确地控制探针，以测量单个 MOS 晶体管的电气特性。 设计理念是创建一个易于使用的探测系统（如光学探测系统），同时通过我们直观的探头操作设计，即使在真空环境下也能保持同样的易操作性。 - 这种基于扫描电子显微镜的探测系统用于分析任何纳米级半导体器件制造过程中可能出现的缺陷和故障。 - ...

... 日立 NE4000 nanoEBAC 是一种基于电子束的探测系统，用于微电子器件互连、材料和元件的电特性分析、EBAC 分析和成像。 电子束吸收电流（EBAC）技术提供了一种快速有效的方法，无需直接探测低层，即可识别互连器件上的开路、高电阻和短路。 EBAC 技术通过电子束穿过电介质层到达低层金属化层，以吸收电子束电流。FESEM 的电子束加速电压可控制穿过介电层的探测深度或穿透水平。在暴露的上层金属化层上放置一个探针，以完成电路并让电子流过互连层。 通过使用双探针和日立专利的差分 ...