Hitachi/日立电子显微镜

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透射电子显微镜
透射电子显微镜
SU9000II

倍率: 3,000,000 unit
空间分辨率: 0.8, 0.4, 1.2 nm

超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000 专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件,高分辨成像所设计。 • 新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。 0.4 nm / 30 kV (SE) 1.2 nm / 1 kV (SE) 0.34 nm / 30 ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH/日立
扫描电子场发射显微镜
扫描电子场发射显微镜
SU8700

倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
空间分辨率: 0.9, 0.8 nm

超高分辨肖特基场发射扫描电子显微镜SU8700 随着快速数据采集和数据处理技术的发展,电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量,而且注重其采集过程的时代。SU8700作为一款面向新时代的SEM,在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上,增加了包括自动获取数据等高通量的功能。 超高分辨观察和超强分析能力 日立的高亮度肖特基场发射电子枪可同时支持超高分辨观察和快速微束分析。在不使用样品台减速的情况下,仅用0.1 ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH/日立
扫描电子场发射显微镜
扫描电子场发射显微镜
SU8600

倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
空间分辨率: 0.7, 0.6 nm

超高分辨场发射扫描电子显微镜 SU8600系列 随着快速数据采集和数据处理技术的发展,电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量,而且重视其采集过程的时代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术,同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。 超高分辨成像 日立的高亮度电子源可保证了即使在超低着陆电压下,也可获得超高分辨的图像。 0.8 ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH/日立
扫描电子场发射显微镜
扫描电子场发射显微镜
SU7000

倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
空间分辨率: 0.9, 0.8 nm

... 是一台实现了获取大量信息的新型扫描电镜,可以满足客户的多种观察需求。 接下来请欣赏SU7000带来的多彩世界 核心理念 1.采用优异的成像技术 SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统,使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号,用户可以在短时间内获得更全面的样品信息。 2.采用多通道成像技术 随着用户对成像需求的不断增长,SU7000特新增了几种探测器,还引进了相应的成像功能。SU7000最多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息的最大化 ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH/日立
扫描电子场发射显微镜
扫描电子场发射显微镜
SU5000

空间分辨率: 1.2 nm

操作高效便捷 创新的“EM Wizard”界面更加直观,仅需要“点击”即可得到理想的图像。 超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平 高性能电子光学系统 • 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)* • 高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能,低至100 V成像 • 大束流(>200 nA): ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH/日立
电子扫描显微镜
电子扫描显微镜
SU series

倍率: 5 unit - 800,000 unit
空间分辨率: 15, 4, 3 nm

集优异性能、操作简便性、多样化功能于一身 日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性,结合众多的自动化功能,可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察。 ①SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察 ■样品台可搭载超大/超重样品 • 通过更换样品提示,可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品 • 选配样品交换仓,可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品,大大提高了工作效率 • 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度* • ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH/日立
电子扫描显微镜
电子扫描显微镜
FlexSEM 1000 II

倍率: 6 unit - 800,000 unit
空间分辨率: 4, 5, 15 nm

... 全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。 FlexSEM 1000 II,凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器,可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面,具有亮度和对焦自动调节功能,可以在短时间内进行各种观察。此外,还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”,这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点,实现最直观的视野移动。 • ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH/日立
传输式电子显微镜
传输式电子显微镜
HT7800 series

倍率: 1,000,000, 800,000, 600,000 unit
空间分辨率: 0.2, 0.14, 0.19 nm

... TEM"RuliTEM"诞生。 ~从生物医学到材料领域~ "RuliTEM"120 kV透射电子显微镜系列,包含配备高衬度透镜,实现大视野、高对比度观察的HT7800和配备高分辨率透镜的HT7830。 全新操作可应对日常工作。 我们将竭诚为您提供合适的TEM解析解决方案。 特点 • 日立的双隙物镜设计,支持低倍率下的大视野高反差观察与高分辨率观察 • 凭借在明亮环境中的数字化操作环境和各种自动功能,从初学者到熟练者均可操作 • ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH/日立
电子显微镜
电子显微镜
NP6800

重量: 990 kg
宽度: 1,190 mm
高度: 1,800 mm

... MOS 晶体管的电气特性。 设计理念是创建一个易于使用的探测系统(如光学探测系统),同时通过我们直观的探头操作设计,即使在真空环境下也能保持同样的易操作性。 - 这种基于扫描电子显微镜的探测系统用于分析任何纳米级半导体器件制造过程中可能出现的缺陷和故障。 - NP6800 Nano-Prober 采用了优化的冷场发射电子源、八探针系统、-40 华氏度至 302 ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH/日立
电子显微镜
电子显微镜
NE4000

... 日立 NE4000 nanoEBAC 是一种基于电子束的探测系统,用于微电子器件互连、材料和元件的电特性分析、EBAC 分析和成像。 电子束吸收电流(EBAC)技术提供了一种快速有效的方法,无需直接探测低层,即可识别互连器件上的开路、高电阻和短路。 EBAC 技术通过电子束穿过电介质层到达低层金属化层,以吸收电子束电流。FESEM ...

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