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HAMAMATSU/滨松公司测量系统
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... NanoGauge 膜厚测量系统 C12562 是一款紧凑、节省空间的非接触式薄膜膜厚测量系统,可根据需要轻松安装在设备中。在半导体行业,因为硅穿孔技术的流行,硅厚度的测量至关重要;在薄膜生产行业,粘合层薄膜越来越薄,以满足产品规格。因此,这些行业现在需要更高的厚度测量精度,测量范围从 ...
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Optical NanoGauge 膜厚测量系统 C10178 是一种利用光谱干涉法的非接触式膜厚测量系统。通过光谱干涉法以高灵敏度和高精度快速测量薄膜厚度。我们的产品使用多通道光谱仪 PMA 作为探测器,可以测量量子产率、反射、透射/吸收和各种其他点,同时测量各种滤光片和涂层膜的厚度等。 特点 • ...
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Multipoint NanoGauge 膜厚测量系统 C11295 是一种利用光谱干涉法的薄膜膜厚测量系统。作为半导体制造过程的一部分,它旨在测量薄膜厚度,以及用于对安装在半导体制造设备上的 APC 和薄膜进行质量控制。允许实时进行多通道测量,可在薄膜表面同时进行多通道测量和多点测量。同时,它还可以测量反射率(透射率)、物体色及其随时间的变化。 特点 • ...
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Optical NanoGauge 膜厚测量系统 C10323 是一种显微膜厚测量系统。如果物体具有会产生高水平散射光的不规则表面,则无法在宏观层面上进行测量。对于这些类型的对象,测量小面积会减少散射光,从而可以进行测量。 C10323-02 ...
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详细参数 • 型号 : C14234-11 • 测量角度范围 : -90° 至 90°(样品垂直方向为 0°) • 激发波长 : 365 nm • 发光波长 : 350 nm 至 950 nm • 角度分辨率 : 约 3.5° • 样品尺寸 : □30 mm(使用 R20 mm 镜片时) • 激发光的角度范围 : -90° 至 90°(样品垂直方向为 0°) • 激发光源 : 光纤输出 LED 365 nm • ...
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... 英寸内径,反光材料:Spectralon • 探测器 : BT-CCD • 设备冷却温度 : -15°C • 光敏设备通道数 : 1024 通道 • 波长测量范围 : • 200 nm 至 950 nm(光谱显示范围) • 380 nm 至 780 nm(颜色测定和光通量计算范围) • 光纤长度 : 1.5 m • 光通量的测量范围 : 0.00013 lm 至 0.12 lm(2 平方毫米发光面积、白光)
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