Busch Vacuum紧凑型真空泵

真空范围: 2 mbar
流量: 4.8, 4 m³/h
输出功率: 0.1 kW

结构紧凑的家用解决方案 结构紧凑 封盖结构，高度和重量减小，适合安装在狭小空间 可靠 结构坚固耐用，高度耐用的叶片，久经验证的旋片技术，使用寿命长 静音 低噪声级，适用于熟食柜台或餐厅

真空范围: 2 mbar
流量: 9.6, 8 m³/h
输出功率: 0.45, 0.35 kW

结构紧凑的家用解决方案 结构紧凑 封盖结构，高度和重量减小，适合安装在狭小空间 可靠 结构坚固耐用，高度耐用的叶片，久经验证的旋片技术，使用寿命长 静音 低噪声级，适用于熟食柜台或餐厅

真空范围: 0.03 mbar
流量: 85, 70 m³/h
输出功率: 4, 2.6, 4.4, 3.2 kW

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵 性能出色 先进的螺杆设计，出色的运行品质，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机

真空范围: 0.03 mbar
流量: 160, 140 m³/h
输出功率: 6.6, 5.2, 5.5, 4.3 kW

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵 性能出色 先进的螺杆设计，出色的运行品质，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机

真空范围: 0.01 mbar
流量: 600 m³/h
输出功率: 15, 9 kW

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵 性能出色 先进的螺杆设计，出色的运行品质，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机

真空范围: 0 mbar
流量: 610, 500 m³/h
输出功率: 3 kW - 4 kW

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵 性能出色 先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上

真空范围: 0 mbar
流量: 960, 775 m³/h
输出功率: 5.5 kW - 6.8 kW

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵 性能出色 先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上

真空范围: 0 mbar
流量: 1,640, 1,365 m³/h
输出功率: 5.5, 6.8 kW

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵 性能出色 先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上

真空范围: 0.01 mbar
流量: 105, 85 m³/h
输出功率: 1.1 kW - 1.8 kW

... 风冷插拔式解决方案 高性能 先进的螺杆设计，钟形结构，获得专利的自平衡螺杆，出色的运行性能，完全适用于半导体和分析应用、灭菌、冷冻干燥、熔炉、薄膜涂层和气体回收等领域 高效 拥有成本低、维护少、维修间隔长、正常运行时间长、高效空气冷却 结构紧凑 就地安装设计，直接安装罐装电机 ...

真空范围: 0.01 mbar
流量: 90 m³/h
输出功率: 1.5, 0.7 kW

... 先进的螺杆设计，钟形悬臂结构，荣获专利的自平衡螺杆，出色的运行品质，非常适用于 load lock 腔和传送腔、计量、平版印刷术、物理气相沉积以及快速热退火等应用 高效 智能变速驱动装置，拥有成本低，维护少，正常运行时间长，直接水冷却 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机，集成控制面板