Busch Vacuum防腐蚀真空泵

真空范围: 0.03 mbar
流量: 85, 70 m³/h
输出功率: 4, 4.4 kW

适用于高要求工艺的密封型真空生产设备 性能出色 先进的螺杆设计，荣获专利的自平衡螺杆，非常适用于镀膜应用、氦气抽送或氟化应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却 密封设计 集成电机，不污染工艺气体，气密

真空范围: 0.03 mbar
流量: 160, 135 m³/h
输出功率: 6.6, 5.5 W

适用于高要求工艺的密封型真空生产设备 性能出色 先进的螺杆设计，荣获专利的自平衡螺杆，非常适用于镀膜应用、氦气抽送或氟化应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却 密封设计 集成电机，不污染工艺气体，气密

真空范围: 0.01 mbar
流量: 600 m³/h
输出功率: 15 kW

适用于高要求工艺的密封型真空生产设备 性能出色 先进的螺杆设计，荣获专利的自平衡螺杆，非常适用于镀膜应用、氦气抽送或氟化应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却 密封设计 集成电机，不污染工艺气体，气密

真空范围: 0.03 mbar
流量: 85, 70 m³/h
输出功率: 4, 2.6, 4.4, 3.2 kW

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵 性能出色 先进的螺杆设计，出色的运行品质，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机

真空范围: 0.03 mbar
流量: 160, 140 m³/h
输出功率: 6.6, 5.2, 5.5, 4.3 kW

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵 性能出色 先进的螺杆设计，出色的运行品质，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机

真空范围: 0 mbar
流量: 610, 500 m³/h
输出功率: 3 kW - 4 kW

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵 性能出色 先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上

真空范围: 0 mbar
流量: 960, 775 m³/h
输出功率: 5.5 kW - 6.8 kW

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵 性能出色 先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上

真空范围: 0 mbar
流量: 1,640, 1,365 m³/h
输出功率: 5.5, 6.8 kW

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵 性能出色 先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用 高效 拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量 结构紧凑 密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上