Brooks instrumentsRS485流量计

体积流率: 10 g/h - 27,000 g/h
工艺温度: 0 °C - 65 °C
工艺压力: 10 psi - 200 psi

... 即使在条件变化时也仍然适用）。 特点 真实质量流量测定 精确密度测量 流经低质量传感器管的全部流体流量（无分支） 能够在流量极低的条件下确保测量准确性的独有光学感测技术 能够测量各种液体和气体 共面阀可实现极短的响应时间 市售体积最小检测流量最低的 Coriolis 仪表和控制器 可测量和输出以下四种参数中的两种：质量流量、体积流量、温度、密度 独立的诊断/服务端口和用户显示屏 各种材料选件、外壳类型和区域分类 优势 能够在流量极低的条件下确保测量准确性的高级传感器和导管技术 可更改工艺化学和 ...

工艺温度: 5 °C - 50 °C
工艺压力: 0 bar - 10 bar
精确度: 0.35, 1 %

系列橡胶密封热式质量流量计和控制器 一台设备，适用于多种气体和多种流量，无与伦比的灵活性 使用一台设备应对多种气体相当于实现了工艺灵活性和生产效率最大化。采用布鲁克斯仪器独有 MultiFlo™ 技术的 GF40 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器非常适用于那些使用多种气体、需要频繁切换气体类型或是需要在保证气体测量和控制准确性的同时重新设定测量范围的系统、工艺和设施。该产品与前所未有的流量测量和控制性能相结合，能够将工艺灵活性提升至新高度。 特点 可编程多气体/多量程功能 Brooks ...

质量流量: 0 l/min - 300 l/min
工艺温度: 0 °C - 50 °C
工艺压力: 0 bar - 34.47 bar

GF100 系列金属密封热质量流量控制器和仪表 高纯度流路。出色的性能、可靠性和可重现性。 GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表性能：快速响应和可重现的高纯度/超高纯度过程气体输送。专为半导体、MOCVD 等其他气体流量控制应用设计，GF100 系列在可靠性方面优于半导体行业标准水平，可确保测量结果可重现并且长时间使用后性能依然高度稳定。一台采用标准 ...

工艺温度: 0 °C - 50 °C
工艺压力: 0 bar - 10.34 bar
精确度: 0.35, 1 %

GF100 系列金属密封热质量流量控制器和仪表 高纯度流路。出色的性能、可靠性和可重现性。 GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表性能：快速响应和可重现的高纯度/超高纯度过程气体输送。专为半导体、MOCVD 等其他气体流量控制应用设计，GF100 系列在可靠性方面优于半导体行业标准水平，可确保测量结果可重现并且长时间使用后性能依然高度稳定。一台采用标准 ...

质量流量: 0 l/min - 36,000 l/min
工艺温度: -14 °C - 65 °C
工艺压力: 310, 100, 70 bar

... 温度极限或是冲洗条件下，SLAMf 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器均能够表现出经验证的 SLA5800 系列仪表和控制器的高精度特性和长期稳定性。专门设计的 NEMA4X/IP66 外壳可保护产品先进的数显电子元件并确保气体和液体质量流量（对过程要求严格）测量和控制的稳定和准确。 特点 NEMA4X/IP66 级加固外壳 适用的流量额定值范围宽 - ...

质量流量: 0 l/min - 300 l/min
工艺温度: 0 °C - 50 °C
工艺压力: 7 psi - 90 psi

GF80 系列金属密封热质量流量控制器和仪表 提升价值驱动型金属密封应用的性能标准 对于许多工业和半导体加工过程，性能和成本效率同样重要。GF80 系列金属密封质量流量控制器拥有以下两个特点：设计采用与最畅销的 GF100 系列响应速度相同的传感器以及第四代 MultiFlo™ 专利技术，该产品绝对是高性价比运营的正确选择。另外，金属密封的 MFC 拥有 MultiFloTM 多气体/多量程功能所带来的全部优势，原因是可用气体方面没有限制并且由于不会发生弹性体氧渗透而提升了气体纯度，同时还由于金属密封件有效期相当长而减少了维护工作量 ...

工艺温度: 0 °C - 150 °C
工艺压力: 0 psi - 90 psi
精确度: 1, 0.35 %

布鲁克斯仪器 9861 系列高温热质量流量控制器和仪表专为在高温相关苛刻条件下输送可冷凝前体和掺杂剂设计，该产品采用高纯度、无泄漏一体化金属流路，可确保兼容所有过程气体和蒸汽。获得专利的 IsoSensor™ 是一种稳定性极高的流量传感器，可兼容加热气体管线和烘干系统中苛刻的环境温度。IsoSensor™ 传感器的超低漂移性能可使高温应用无需频繁重新调零和重新校准。 特点 超稳定的 IsoSensor™ ...