Brooks instruments直流流量计

工艺温度: 5 °C - 50 °C
工艺压力: 0 bar - 10 bar
精确度: 0.35, 1 %

系列橡胶密封热式质量流量计和控制器 一台设备，适用于多种气体和多种流量，无与伦比的灵活性 使用一台设备应对多种气体相当于实现了工艺灵活性和生产效率最大化。采用布鲁克斯仪器独有 MultiFlo™ 技术的 GF40 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器非常适用于那些使用多种气体、需要频繁切换气体类型或是需要在保证气体测量和控制准确性的同时重新设定测量范围的系统、工艺和设施。该产品与前所未有的流量测量和控制性能相结合，能够将工艺灵活性提升至新高度。 特点 可编程多气体/多量程功能 Brooks ...

质量流量: 0 l/min - 300 l/min
工艺温度: 0 °C - 50 °C
工艺压力: 0 bar - 34.47 bar

GF100 系列金属密封热质量流量控制器和仪表 高纯度流路。出色的性能、可靠性和可重现性。 GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表性能：快速响应和可重现的高纯度/超高纯度过程气体输送。专为半导体、MOCVD 等其他气体流量控制应用设计，GF100 系列在可靠性方面优于半导体行业标准水平，可确保测量结果可重现并且长时间使用后性能依然高度稳定。一台采用标准 ...

工艺温度: 0 °C - 50 °C
工艺压力: 0 bar - 10.34 bar
精确度: 0.35, 1 %

GF100 系列金属密封热质量流量控制器和仪表 高纯度流路。出色的性能、可靠性和可重现性。 GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表性能：快速响应和可重现的高纯度/超高纯度过程气体输送。专为半导体、MOCVD 等其他气体流量控制应用设计，GF100 系列在可靠性方面优于半导体行业标准水平，可确保测量结果可重现并且长时间使用后性能依然高度稳定。一台采用标准 ...

质量流量: 0 l/min - 300 l/min
工艺温度: 0 °C - 50 °C
工艺压力: 7 psi - 90 psi

GF80 系列金属密封热质量流量控制器和仪表 提升价值驱动型金属密封应用的性能标准 对于许多工业和半导体加工过程，性能和成本效率同样重要。GF80 系列金属密封质量流量控制器拥有以下两个特点：设计采用与最畅销的 GF100 系列响应速度相同的传感器以及第四代 MultiFlo™ 专利技术，该产品绝对是高性价比运营的正确选择。另外，金属密封的 MFC 拥有 MultiFloTM 多气体/多量程功能所带来的全部优势，原因是可用气体方面没有限制并且由于不会发生弹性体氧渗透而提升了气体纯度，同时还由于金属密封件有效期相当长而减少了维护工作量 ...

质量流量: 40 l/min
工艺温度: 5 °C - 50 °C
工艺压力: 0 bar - 10 bar

4800 系列橡胶密封热式质量流量计和控制器 响应时间极快，适用于对时间要求严格的工艺 热式质量流量计和控制器的响应速度越快，工艺就越高效，生产效率越高。响应速度是 4800 系列的主要优势：该产品将基于 MEMS 的高级热传感器与独有的 PID 算法相结合以优化控制阀的响应速度，因此使4800 系列控制器能够根据设定值变化快速匹配实际的流量。本地操作界面 ...

质量流量: 0 l/min - 30,000 l/min
工艺温度: 0 °C - 65 °C
工艺压力: 0 psi - 1,500 psi

5850EM 系列金属密封热质量流量控制器 经验证长期稳定，超纯洁净体系，适用于高压应用 5850EM 系列金属密封热质量流量控制器的性能基于广泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC，可在高洁净环境下测量和控制高压气体流量并具有经验证的稳定性。该产品的金属密封结构和电镀抛光接液表面可确保出色的流量完整性并有助于整体提升过程效率，这得益于设备无需对气体压力进行连续监测和重新调节即可保证流量稳定。 特点 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ...

工艺温度: 0 °C - 150 °C
工艺压力: 0 psi - 90 psi
精确度: 1, 0.35 %

布鲁克斯仪器 9861 系列高温热质量流量控制器和仪表专为在高温相关苛刻条件下输送可冷凝前体和掺杂剂设计，该产品采用高纯度、无泄漏一体化金属流路，可确保兼容所有过程气体和蒸汽。获得专利的 IsoSensor™ 是一种稳定性极高的流量传感器，可兼容加热气体管线和烘干系统中苛刻的环境温度。IsoSensor™ 传感器的超低漂移性能可使高温应用无需频繁重新调零和重新校准。 特点 超稳定的 IsoSensor™ ...